膜厚测量系统

膜厚测量系统

应用激光扫描，光谱共聚焦法，电容法，涡流法，光热法等多种测量手段，艾默森发展了多种膜厚测量系统。对湿膜、干膜、涂覆层、镀层膜等都有成熟的解决方案。

高精度运动平台

• XYZθ多轴组合运动方案

• 重复定位精度可达0.1μm

• 自动追焦功能

• 自动触发光学系统采集图像

我们自主设计并制作应用于膜厚测量系统的高精度多轴运动平台，各种行程均可定制。

误差补偿算法

• 运动机构几何误差补偿

• 设备温度补偿

• 标定误差补偿

专业的补偿算法，对运动机构的几何误差，温度误差，标定误差进行补偿，达到极高精度。

多种测量方式

• 光谱共焦法

• 激光三角法

• 电容法

• 涡流法

对不同的被测膜材料，我们有不同的测量方式。对透明膜的光谱共焦法，对金属镀膜的涡流检测法等等。

自研运动控制器

• 多轴运动控制

• 测头数据直接进入控制器

• 支持EtherCAT通讯

• 支持多种测头接入

测头数据可直接通过EtherCAT协议直接进入控制器，极大的提高测头数据采集的实时性。常用测头均可接入控制器。

分体薄膜厚度测量

• 金属薄膜厚度测量

• 有机薄膜厚度测量

• 生产过程中测量

• 成品膜品控厚度测量

为航天工业生产的金属薄膜厚度测量系统，测量精度可达1μm，为核工业生产的高分子薄膜厚度测量设备，精度可达0.5μm。

涂层、镀层厚度测量

• 手机玻璃表面油墨涂层厚度测量

• 金属板材表面镀层厚度测量

• 金属表面喷漆厚度测量

• 有机材料板材表面涂覆层厚度测量

为苹果手机生产的手机玻璃表面油墨涂层厚度测量设备，精度可达0.6μm，核工业包壳管表面镀层厚度测量设备，精度可达1μm。