定制3D显微测量系统

高精度多轴运动平台

• XYZθ多轴组合运动方案

• 重复定位精度可达0.1um

• 自动追焦功能

• 自动触发光学系统采集图像

• 自动触发光学系统采集图像

我们自主设计并制造应用于3D显微测量系统的高精度多轴运动平台,各种行程均可定制。在传统的XYZ三轴基础上,也可以叠加旋转轴。

点云测量软件IMS

• 支持几乎所有常规点云格式

• 多种滤波算法,有效去除异常值

• 特殊算法填充未测量区域

• 多种渲染样式出色的点云显示效果

IMS 是艾默森自主知识产权的点云测量软件。可在扫描的点云上进行拼接,提取特征,快速、准确地测量多个特征。

单点式测头

• 极小的测量光斑

• 分辨能力可达3nm

• 对透明薄膜具备测厚功能

• 任何材料都可测试·非透明/透明材料，漫反射/反射，吸收，彩色，粗糙/抛光...

采用光谱共聚焦原理的单点式测头,可以对各种材质进行测量。极小的测量光斑,使得几个μ m大小的超小型被测物都可以被有效测量。

面阵式测头

• 多焦面叠加,干涉测量,共聚焦测量三种测头

• 多种规格物镜可选

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• 视场范围(单一视场)6.7x5.6mm

• 光学分辨率可达148nm

• 纵向分辨率可达0.01nm

采用多焦面叠加,干涉测量,共聚焦测量三种测量原理的测头,能够对不同特征的样品扫描成像。面测量的方式，可以一次性对整个区域进行成像。

点扫描显微测量系统iFoint-200

• 测量光斑直径5um

• Z方向分辨率0.1um

• XYZ行程200*200*5mm

• XYZ轴均配备精密光栅反馈

iFPoint-200是艾默森开发的一款结合单点光谱共焦测头和三轴高精度位移平台的三维显微扫描测量系统.扫描范围可达200*200mm,可定制更大测量范围的型号。

面扫描显微测量系统iFSurf-300

• 多焦面叠加,干涉测量，共聚焦测量三种测头

• Z轴最大测量范围12mm

• 可加装电动旋转A轴

• 最大可测300*300mm样品

iFSurf-300是艾默森开发的一款结合面测量测头和三轴高精度位移平台的三维显微扫描测量系统。扫描范围可达300*300mm,是一款真正的高精度面测量显微系统。