双激光快速检测方案

检测方案：

设备主要功能是通过光学成像和激光完成非接触测量， 对射式双激光结构系统，可实现相关产品的双面Z向高度、平面度以及厚度测量。精密紧凑的检测系统， 花岗岩基座，高精度线性导轨，轻质高强度特种铝合金框架，玻璃工作台。计算机控制的照明光源系统，上下双激光，集多种传感器于一体，精密滚珠丝杆传动。实现各种零件的高度差及厚度尺寸检测。

测量应用：

主要应用于石墨烯、石墨烯晶圆载盘、FBC软板等平整度、高度、厚度及弧度检测。